随着信息技术的高速发展,半导体产业日益成为全球最重要的产业之一。目前,半导体设备的国产化需求急剧上升,得益于半导体行业的蓬勃发展和国家政策的支持。在此大背景下,安川电机深入对半导体设备和工艺的研究,致力于为客户提供优质的解决方案。
清洗工艺贯穿于晶圆制造的整个过程,是保证良品率的关键之一。清洗工艺的好坏不仅影响表面的洁净度,还会对芯片的电学性能、稳定性等产生直接影响。
安川电机针对清洗工艺提出了全新的中空电机方案。
1、空间优化
以往的结构是伺服通过皮带轮装置连接中空轴,结构相对复杂,占据空间。通过采用中空伺服电机,可简化机械结构以实现节省空间的目的。
2、粉尘减少
中空部的转动轴采用不锈钢,并选用低发尘规格的特殊润滑脂,有效地减少了粉尘的发生。
3、高速高精度
搭载了24bit高分辨率编码器,其中SGM7T-08A最大速度可达3000min-1。
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