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APS4322 XPlanar片尺寸为240 mm x 240 mm，非常适合APM4550动子（宽235 mm）的单向操作或APM42xx动子（厚115或127 mm）的双向操作。保证了相应XPlanar系统的更小空间要求。
产地：德国
变体：标准
旋转角度：max.±5°
位置分辨率：1µm（x，y，z）
0.001°（a、b、c）
重复性：≤±10µm（x，y，z）
≤±0.03°（a、b、c）
输入电压：100…240 V AC/24 V DC
动态加速：高达10m/s²
馈电：110…230 V
连续电源：200 W
操作：单向，双向
尺寸（宽x高x深）：240毫米x 240毫米x 67毫米
重量：5.6 kg
